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氖气在半导体的使用?

问题描述:

氖气在半导体的使用?

1个回答 2024-07-26 21:21:44

精选答案:

氖气是光刻气中主要成分,是半导体行业曝光和蚀刻工艺的关键材料。

在微电子、光电子器件生产过程中,从芯片生产到最后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离不开氖气。因此被称为半导体材料的“粮食”和“源”。氖气是半导体制造业不可缺少的工艺气体。